5320A是一款高精度三轴向MEMS加速度计，采用变电容MEMS敏感元件，可同时输出三个轴向的加速度信号，并具有气阻尼和过量程阻止器设计，使得MEMS敏感元件可以耐受很高的冲击。具有极高的温度稳定性和精度，专门设计用于航空航天和汽车领域中的低振动水平的加速度测量。典型应用包括汽车碰撞后整体车身三轴向运动测量环境的振动试验。
主要产品特点：1.MEMS加速度计。2.零频直流响应输出。3.多量程可选。4.精度高。5.三轴测量
主要应用领域：高铁、倾角测量，飞行试验
主要技术指标：
1.量程（±g）：2，5，10，50，200，
2.灵敏度（mV/g）：1000，400，200，40，10
3.频率响应（Hz，±3dB）：0-1000
4.冲击极限（±g）：5000
5.工作温度范围（℃）：-40-85
6.重量（克）：65
7.尺寸（mm）：28×28×23
8.外壳材料：阳极氧化铝
9.输出接口：5pin m12
